芬兰VTI公司生产的SCA100T-D01型高精度双轴倾角传感器芯片是基于3D MEMS的高精度双轴倾角传感器芯片，SCA100T-D01提供了水平测量仪表级别的性能。双轴高精度倾角传感器芯片的传感元件在测量时需要与测量平台保持平行，并且传感器双轴需相互垂直。弱的温度依赖性、高分辨率、低噪声和健全的传感元件设计，让SCA100T-D01型高精度双轴倾角传感器芯片成为水平测量仪器的不二选择。

 

最高精度的双轴倾角传感器芯片

全温区、长期保持高稳定性

Ug级别的分辨率

可靠

能遭受超过20，000g的冲击

传感器元件做了机械阻尼设计，可忽略掉高频振动的影响。

多种方式的自我诊断设计，方便工程调试设计

非常容易使用

使用标准的双排针塑料表贴封装。

不需要编程，不需要进行再校正。

内部增加温度补偿传感器。

仅需一个5V直流供电。

同时具有模拟和数字输出（SPI）接口。

单晶硅材料- 杰出的防冲击性能

不会有柔性变形- 在机械冲击过程中不会有参数偏移

内部气体阻尼- 机械振动辨别力

经过微加工的质量块- 低于15mg/ÖHz 噪声的ug级分辨率。

相对称的电容感应传感器元件—卓越的零点依稀和稳定的灵敏感性度。

高精度倾角传感器芯片SCA100T性能参数

参数名称	条件	SCA100T-D01	SCA100T-D02	单位
工作电压		4.75…5.25	4.75…5.25	V
工作电流	VDD=5V；无负载	4	4	mA
工作温度		-40…125	-40…125	degC
测量量程		+/-30	+/-90	度
		+/-0.5	+/-1.0	G
频率响应	-3dB	8…28	8…28	Hz
零点输出	环比输出	VDD/2	VDD/2	V
零点校正误差		+/-0.11	+/-0.23	度
零点数字输出		1024	1024	LSB
灵敏度		4	2	V/g
	在0…1度范围内	70	35	mV/度
灵敏度校正误差		+/-0.5	+/-0.5	%
数字灵敏度		1638	819	LSB/g
零点温漂	-25…85degC	+/-0.008	+/-0.0008	度/degC
	-40…85degC	+/-0.86	+/-0.86	度
灵敏度温漂	-25…85degC	+/-0.014	+/-0.014	%/degC
	-40…85degC	-2.5…+1	-2.5…+1	%
线性度	测量范围内	+/-0.11	+/-0.57	度
数字分辨率		11	11	Bits
	在0…1范围内	0．035	0．07	度/LSB
噪声密度	DC…100Hz	0.0008	0.0008	度/√Hz
模拟输出分辨率	带宽10Hz	0．0025	0．0025	度
环比误差	VDD=4.75…5.25V	+/-1	+/-1	%
交叉灵敏度	最大值	4	4	%
长期稳定性		<0.014	<0.014	度

 

高精度倾角传感器芯片SCA100T应用范围

 

SCA100T适合需要高稳定性、高精度、双轴应用的场合，如各种仪器仪表和重型机械等。

平台水准与稳定系统

水准仪器

垂直方向360度测量  

施工水平设备

双轴倾角传感器模块在液压钻机上的方案

双轴倾角传感器模块在旋挖钻机上的桅杆方案

双轴倾角传感器模块在挖掘机中的方案

双轴倾角传感器模块在升降机中的方案

双轴倾角传感器模块在起重机系统中的方案

双轴倾角传感器模块在平地机上的方案

双轴倾角传感器模块在可伸缩机械手中的方案

双轴倾角传感器模块在打桩机桅杆上的方案